鞭牛士 2月15日消息，据韩媒TheElec报道，三星正在研究和开发一种用于制造聚焦环（focus ring）的新材料。聚焦环是晶圆制造蚀刻过程中使用的商品。它将晶圆固定在适当的位置以保持等离子体密度并防止晶圆侧面受到污染。三星现在正在寻找碳化硼（B4C）来替代SiC，B4C硬度更高，这意味着它们的单位使用时间更长。然而，三星需要克服可靠性问题并衡量用B4C替代SiC的经济可行性。